어닐링
Annealing
어닐링은 가열과 냉각을 통해 재료의 결함·구조·전기적 특성 등을 변화시키는 열처리다.
설명
후 손상 회복과 , 막의 구조 조정 등에 활용될 수 있다. 목적에 따라 온도·시간·분위기가 달라지며 하나의 보편적 조건은 없다.
예시
어떤 막에서는 저항 개선이 목표이고 다른 단계에서는 결정 손상 회복이 목표일 수 있다. 어닐링 완료라는 말에는 평가할 출력 특성이 따라야 한다.
구분
열을 가했다는 사실보다 어떤 특성을 바꾸려 했는지가 중요하다.