도펀트 활성화
Dopant activation
도펀트 활성화는 주입된 불순물 원자가 전기적으로 기능할 수 있는 상태가 되도록 하는 과정이다.
설명
주입된 원자 수와 실제 전기적 기여는 같지 않을 수 있다. 열처리는 손상 회복과 활성화를 돕지만 분포 이동이나 재료 변화도 일으킬 수 있다.
예시
이 맞는데 저항이 다르면 활성화와 측정·재료 상태를 함께 검토한다. 전류 적산으로 얻은 주입량을 최종 전기적 특성과 동일시하지 않는다.
구분
원자를 넣는 단계와 원하는 전기적 역할을 하게 하는 단계를 구분한다.