RTP
Rapid Thermal Processing
급속 열처리
RTP는 의 온도를 빠르게 올리고 내리는 방식으로 열 이력을 제어하는 급속 열처리다.
설명
램프 가열 등을 활용하여 짧은 시간에 필요한 반응을 유도하고 불필요한 열 노출을 줄인다. 실제 온도 균일도와 측정·보정이 중요하다.
예시
보다 처리 시간이 짧다고 모든 재료에 자동으로 더 적합한 것은 아니다. 필요한 반응량, 균일도와 응력 조건을 함께 비교한다.
구분
짧은 시간 제어는 공정 목적에 맞는 열 이력을 선택하는 수단이다.