얕은 트렌치 분리
Shallow trench isolation
STI
얕은 트렌치 분리인 STI는 기판에 형성한 얕은 홈을 절연 재료로 채워 인접 소자 영역을 분리하는 구조와 공정이다.
설명
트렌치 식각··라이너·충전·평탄화가 연결된다. 충전 후 평균 두께만으로 경계의 절연 성능을 판단할 수 없다.
예시
누설이 경계에 집중되면 충전 잔류뿐 아니라 식각 손상과 모서리 상태도 조사한다.
구분
분리 구조를 여러 공정이 만든 계면과 형상의 결과로 본다.