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켈빈 측정

Kelvin measurement

팩별 설명

켈빈 측정은 전류를 흘리는 경로와 전압을 읽는 경로를 분리하여 측정선 등의 저항 영향을 줄이는 방식이다.

설명

적절한 시험 구조로 접촉 성분을 분리하는 데 도움을 주지만 구조 자체의 기하학적·확산 저항 영향은 해석해야 한다.

두 단자 측정값이 높을 때 켈빈 구조와 비교하면 리드 영향과 접속부 영향을 구분하는 증거를 얻는다.

측정법의 개선과 모든 기생 성분 제거를 동일시하지 않는다.

표면 준비는 후속 증착·접합·반응이 재현되도록 오염과 표면 화학상태를 조정하는 과정이다.

모세관 힘은 액체의 표면장력과 계면 형상으로 생기는 힘이며, 미세 패턴 건조 중 변형을 일으킬 수 있다.

실리콘 소모는 열산화 중 실리콘이 산화막으로 바뀌어 원래 기판 일부가 줄어드는 현상이다.