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실리사이드

Silicide

팩별 설명

실리사이드는 금속과 실리콘이 반응해 형성한 화합물이며 접속 저항을 줄이는 데 활용될 수 있다.

설명

상·조성·두께·연속성·가 성능을 좌우한다. 열처리 조건을 바꾸면 원하는 상뿐 아니라 응집이나 확산도 달라질 수 있다.

실리콘 소모

실리콘 소모는 열산화 중 실리콘이 산화막으로 바뀌어 원래 기판 일부가 줄어드는 현상이다.

낮은 저항을 목표로 반응을 늘리면서 얕은 접합의 소모 위험도 확인한다.

저항 감소와 접합 보존을 동시에 평가한다.

실리콘 소모는 열산화 중 실리콘이 산화막으로 바뀌어 원래 기판 일부가 줄어드는 현상이다.

표면 준비는 후속 증착·접합·반응이 재현되도록 오염과 표면 화학상태를 조정하는 과정이다.

모세관 힘은 액체의 표면장력과 계면 형상으로 생기는 힘이며, 미세 패턴 건조 중 변형을 일으킬 수 있다.