WAT
Wafer Acceptance Test
WAT는 웨이퍼의 공정 상태를 평가하기 위해 전용 시험 구조의 전기적 특성 등을 측정하는 웨이퍼 수용성 시험이다.
설명
저항, 트랜지스터 특성, 절연막 관련 값이 공정 목표와 일치하는지 살핀다. 전용 구조는 스크라이브 라인이나 다이 내부에 배치될 수 있다.
예시
WAT 구조가 양호해도 모든 제품 다이의 기능이 검증된 것은 아니다. 샘플 위치와 제품 회로의 차이가 남아 있다.
구분
WAT는 공정 상태를 읽는 창이며 제품 전체 을 대신하지 않는다.