게이트 밸브
Gate valve
게이트 밸브는 공간 사이의 경로를 열거나 닫아 구역을 분리하는 밸브다.
설명
챔버 격리와 통과 경계에 쓰이며 차압·로봇 위치·웨이퍼 상태 같은 조건과 연동된다. 차단용 밸브를 모두 정밀 압력 제어용으로 볼 수는 없다.
예시
밸브 닫힘 명령과 실제 닫힘 확인은 별개다. 위치 확인이 불명확하면 표시만 바꾸어 정상 상태로 간주하지 않는다.
구분
명령, 실제 위치, 밀봉 성능은 각각 확인해야 하는 정보다.
Gate valve
게이트 밸브는 공간 사이의 경로를 열거나 닫아 구역을 분리하는 밸브다.
챔버 격리와 통과 경계에 쓰이며 차압·로봇 위치·웨이퍼 상태 같은 조건과 연동된다. 차단용 밸브를 모두 정밀 압력 제어용으로 볼 수는 없다.
밸브 닫힘 명령과 실제 닫힘 확인은 별개다. 위치 확인이 불명확하면 표시만 바꾸어 정상 상태로 간주하지 않는다.
명령, 실제 위치, 밀봉 성능은 각각 확인해야 하는 정보다.