노출량
Precursor exposure
노출량은 표면이 경험하는 전구체 분압을 시간에 대해 적분한 양으로, 단순 조건에서는 분압과 시간의 곱으로 근사한다.
설명
명령시간이 같아도 전달 지연·흡착·압력 변화 때문에 실제 노출량은 달라진다. 같은 적분값이어도 시간 분포와 구조 내부 수송이 다르면 결과가 달라질 수 있다.
예시
짧고 높은 펄스와 길고 낮은 펄스를 무조건 동등하게 취급하지 않는다. 표면 반응과 확산의 시간 척도를 고려해 승인된 비교를 한다.
구분
노출은 명령 숫자가 아니라 표면에 도달한 반응물의 이력이다.