하드마스크
Hard mask
하드 마스크
하드마스크는 의 패턴을 받아 후속 동안 가공 영역을 보호하는 비교적 내식각성 있는 막이다.
설명
얇은 으로 미세 패턴을 만든 뒤 더 오래 견디는 막으로 옮기면 와 보호 역할을 나눌 수 있다. 하드마스크를 만드는 식각 자체의 편차도 관리해야 한다.
예시
막을 추가하면 보호 능력은 얻지만 증착·전사·제거 단계가 늘어난다. 필요한 깊이와 를 보고 전체 패터닝 구조를 설계한다.
구분
하드마스크는 의 한계를 다른 재료로 보완하는 역할 분담이다.