광학 간섭 종말점
Interferometric endpoint
광학 간섭 종말점은 막 표면과 계면에서 반사된 빛의 간섭 변화를 이용해 두께 변화를 추정하는 방법이다.
설명
굴절률·입사각·막 구조가 모델에 들어간다. 투명 단일막과 복잡한 다층막은 해석 조건이 다르며 표면 거칠기나 반사율 변화가 신호에 영향을 준다.
예시
가상 단순 정입사 모델에서 한 주기의 두께 변화는 λ/(2n)이다. λ=600 nm, n=1.5라면 200 nm이며 실제 스택에는 추가 모델이 필요하다.
구분
간섭 신호를 두께로 바꿀 때 광학 모델의 가정을 확인한다.