임피던스 매칭
Impedance matching
RF 매칭매칭 네트워크
임피던스 매칭은 부하를 발생기·전송선에 맞게 변환해 반사를 줄이는 과정이다.
설명
매칭 네트워크의 가변 소자가 플라즈마의 변화에 대응한다. 정상상태 매칭이 좋아도 짧은 펄스나 점화 과도 구간에서는 추종이 늦을 수 있다.
예시
정비 뒤 매칭 위치만 달라지고 반사는 낮다면 부하 변화가 자동 보상됐을 수 있다. 위치·전압·전류와 공정 결과를 같이 기록한다.
구분
반사를 줄인 결과와 부하 자체가 동일하다는 주장은 구분한다.