광방출 분광
Optical emission spectroscopy
OES
광방출 분광은 플라즈마에서 방출되는 빛을 파장별로 측정해 들뜬 종의 변화를 관측하는 방법이다.
설명
목표막 제거 중 발생하는 종의 신호가 끝날 때 바뀔 수 있다. 하지만 발광은 종의 양뿐 아니라 전자 에너지·여기 조건·광학 경로에도 영향을 받는다.
예시
창 오염이나 플라즈마 상태 변화가 종말점 신호를 바꿀 수 있다. 단일 파장 강도를 절대 농도로 바로 환산하지 않는다.
구분
OES는 반응 변화의 단서이지 조건 없는 농도계가 아니다.