긴급 격리·임시 봉쇄조치

팀 구성, 문제 정의, 임시 긴급 격리, 근본원인 검증, 영구 시정조치, 재발방지 등을 단계적으로 수행하는 구조화된 문제해결 체계.

발생한 부적합이나 문제의 원인을 제거해 같은 문제가 다시 발생하는 것을 막기 위한 조치.

생산·추적·공정 관리를 위해 하나의 단위로 묶어 취급하는 웨이퍼 묶음.

이상 가능성이 있거나 추가 판단이 필요한 웨이퍼 로트/재료가 다음 공정으로 진행하지 못하도록 일시적으로 멈추는 조치.

팀 구성, 문제 정의, 임시 긴급 격리, 근본원인 검증, 영구 시정조치, 재발방지 등을 단계적으로 수행하는 구조화된 문제해결 체계.

발생한 부적합이나 문제의 원인을 제거해 같은 문제가 다시 발생하는 것을 막기 위한 조치.

열에 의해 원자나 도펀트가 물질 내부로 이동하도록 하는 열 공정. 이온주입 뒤 도펀트 활성화나 분포 조절과 연결될 수 있다.

발생한 부적합이나 문제의 원인을 제거해 같은 문제가 다시 발생하는 것을 막기 위한 조치.

문제를 직접 유발하거나 재발을 가능하게 한 가장 근본적인 원인으로, 제거·통제하면 같은 문제의 반복 가능성을 낮출 수 있는 원인.