이온화 진공계
Ionization gauge
이온화 진공계는 잔류 기체를 이온화했을 때 생기는 전기 신호로 낮은 압력을 측정하는 센서다.
설명
고진공 측정에 쓰이지만 기체별 감도와 오염 영향을 받는다. 사용 가능한 압력 범위와 점등 조건을 지켜야 하며 다른 원리의 센서와 역할을 나누기도 한다.
예시
센서가 측정하지 않는 상태를 표시값 0으로 잘못 해석하면 압력이 충분히 낮다고 착각할 수 있다. 유효 측정 상태와 오류 플래그도 함께 읽는다.
구분
작은 숫자보다 유효한 측정인지가 먼저다.