분리막 응력
Isolation-induced stress
분리막 응력은 분리 구조의 재료·열 이력·형상 때문에 주변 소자 영역에 전달되는 기계적 응력이다.
설명
응력은 이동도나 결함 거동에 영향을 줄 수 있고 패턴 폭과 주변 배치에 따라 달라진다. 절연 성능 외의 소자 특성도 바뀔 수 있다.
예시
동일 트랜지스터가 주변 분리 구조에 따라 달라지면 응력과 레이아웃 의존성을 함께 검토한다.
구분
분리막을 전기적으로만 수동적인 채움 재료로 보지 않는다.