로드록
Load lock
로드록은 외부와 공정 진공 사이에서 압력 환경을 전환하며 웨이퍼를 드나들게 하는 중간 공간이다.
설명
매번 공정 챔버를 대기에 노출하지 않아 오염과 배기 부담을 줄인다. 로드록 배기·벤트·열상태·잔류는 진공 이송과 처리량에 영향을 준다.
예시
공정 챔버는 정상인데 대기시간이 늘면 로드록 전환시간과 이송 대기를 분리한다. 압력 완료 기준을 임의로 완화해 처리량을 높이지 않는다.
구분
환경 분리의 품질과 전환시간을 함께 관리한다.