진공 대기와 큐타임
Vacuum dwell and queue time
큐타임
큐타임은 공정 단계 사이에 웨이퍼가 기다린 시간이며, 진공에서도 표면·온도 상태가 계속 변할 수 있다.
설명
잔류 가스 흡착·탈가스·냉각·반응성 표면의 변화는 압력과 시간에 영향을 받는다. 진공에 있다는 이유만으로 무제한 대기를 허용할 수는 없다.
예시
전처리와 증착 사이 시간이 다른 두 경로를 비교하면 이송 이력과 챔버 성능이 섞인다. 허용 대기 조건과 실제 시간을 기록한다.
구분
이송 대기는 공정의 초기 조건을 바꾼다.