용어검색/반도체측정 대상량Measurand팩별 설명반도체 수율·불량 L1반도체 계측·검사 L1반도체 소재 L1반도체 공정 L2반도체 테스트 L2반도체 계측·검사 L2측정 대상량은 무엇을 어떤 정의로 측정하려는지 정한 물리량이다.정의 복사관련 학습 ↓설명같은 선폭이라도 상부 폭, 바닥 폭, 전기적 유효 폭은 다르다. 정의가 다른 값을 장비 오차로만 해석해서는 안 된다.예시두 장비의 막두께가 다를 때 사용한 모델과 계면 정의가 같은지 확인한다. 서로 다른 것을 재고 있을 가능성이 있다.구분측정값 비교의 출발점은 측정 대상의 정의 일치다.함께 배우는 용어유효 다이 수↗유효 다이 수는 미리 정한 규칙에 따라 수율 계산 대상으로 삼는 다이의 개수다.웨이퍼 전기검사 수율↗웨이퍼 전기검사 수율은 웨이퍼 상태에서 시험한 유효 다이 중 합격한 다이의 비율이다.명시야 검사↗명시야 검사는 주로 정반사 성분을 포함한 밝은 배경 영상의 차이로 이상을 찾는 광학 방식이다.이전 용어← 측정시스템 분석다음 용어측정 편향 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개