측정시스템 분석
Measurement system analysis
MSA
측정시스템 분석인 MSA는 장비·방법·작업자·환경이 측정 결과에 주는 변동과 편향을 평가하는 활동이다.
설명
관측된 산포에는 제품 차이와 측정 차이가 함께 들어 있다. 측정 오차가 크면 공정의 작은 개선을 구분하기 어렵다.
예시
선폭 개선 폭이 1nm인데 측정 반복 산포가 그와 비슷하다면 공정 효과를 성급히 확정하지 않는다.
구분
분석의 눈이 충분히 안정적인지 먼저 평가한다.