측정 풋프린트
Measurement footprint
측정 풋프린트는 한 번의 측정 신호가 실제로 포함하는 시료 위 영역이다.
설명
작은 점을 표시하는 장비라도 빛이나 전자가 상호작용하는 영역은 유한하다. 풋프린트 안에 여러 구조가 섞이면 혼합된 응답을 얻는다.
예시
좁은 패턴 옆에 다른 재료가 있는데 광학 스폿이 둘을 함께 비추면 결과를 한 재료의 두께로 해석하기 어렵다. 측정 영역과 타깃 크기를 확인한다.
구분
화면의 좌표 한 점과 신호가 담은 실제 영역은 같지 않을 수 있다.