메가소닉 세정
Megasonic cleaning
메가소닉 세정은 높은 주파수의 음향 에너지를 액체에 전달해 입자 제거를 돕는 방식이다.
설명
음향장과 액체 흐름이 표면 부근의 제거 작용을 보조한다. 강도를 높일수록 모든 미세 구조에 유리한 것은 아니며 취약한 패턴의 손상 가능성을 평가해야 한다.
예시
입자 수는 줄었지만 가는 패턴이 손상되었다면 제거 효과만으로 합격시킬 수 없다. 공정 목적에 맞는 에너지와 적용 범위가 필요하다.
구분
물리적 제거력과 구조 보존의 균형을 확인한다.