매엽 세정
Single-wafer cleaning
매엽 세정은 한 장씩 에 액체나 기체를 공급하여 처리 조건을 제어하는 방식이다.
설명
노즐 위치, 회전, 공급 유량과 처리 시간이 표면 노출을 만든다. 개별 제어에 유리하지만 노즐·회전부·배출부의 상태도 균일도에 영향을 준다.
예시
한 방향의 띠 모양 결함이 반복되면 노즐과 액체 분포가 조사 후보가 된다. 원인 확정에는 결함 위치와 장비 동작 기록의 연결이 필요하다.
구분
한 장씩 처리해도 안의 모든 위치가 같은 조건인 것은 아니다.