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금속막의 연속성

Metal film continuity

금속막의 연속성은 필요한 영역에서 금속이 끊김 없이 이어져 전류나 후속 성장 경로를 제공하는 상태다.

설명

초기 섬 모양 성장이 서로 연결되기 전에는 평균 두께가 있어도 전기적 경로가 끊길 수 있다. 와 젖음성이 연결에 영향을 준다.

계면 상태

계면 상태는 반도체와 절연막의 경계에 존재하여 전하를 포획·방출할 수 있는 전자적 상태다.

얇은 시드막의 평균 두께는 같아도 국부 단절이 있으면 후속 도금이 불균일해질 수 있다.

두께와 연결성은 별도의 응답으로 확인한다.

계면 상태는 반도체와 절연막의 경계에 존재하여 전하를 포획·방출할 수 있는 전자적 상태다.

공정 통합은 여러 단위공정의 순서·재료·형상을 조정하여 최종 소자와 배선의 요구특성을 함께 만족시키는 활동이다.

공정 모듈은 특정 구조나 기능을 완성하기 위해 묶어 관리하는 연속 공정의 단위다.