분자 오염
Molecular contamination
분자 오염은 공기나 표면의 원하지 않는 분자 성분이 흡착·반응하여 공정에 영향을 주는 상태다.
설명
유기 성분이나 산·염기 성분 등이 민감한 표면과 반응할 수 있다. 입자 필터가 모든 기체상 오염을 제거하는 것은 아니다.
예시
입자 수가 낮은 환경에서도 표면 반응이 달라질 수 있다. 사용 재료의 방출 성분과 보관·노출 조건을 함께 검토한다.
구분
청정도는 입자 개수 하나로 완전히 표현되지 않는다.