용어검색/반도체금속 오염Metallic contamination팩별 설명반도체 장비 L1반도체 수율·불량 L1금속 오염은 공정에서 의도하지 않은 금속 성분이 재료나 표면에 들어오는 것이다.정의 복사관련 학습 ↓설명부품·약품·물·접촉 도구 등에서 유입될 수 있고 전기적 특성에 영향을 줄 수 있다. 눈에 보이는 입자와 동일한 형태로만 존재하지 않는다.예시표면이 깨끗해 보여도 미량 금속이 문제일 수 있다. 외관 검사와 성분 분석이 확인하는 범위를 구분한다.구분보이지 않는 오염은 적합한 분석 방법으로 확인해야 한다.함께 배우는 용어레시피↗레시피는 장비가 공정을 수행하도록 단계별 설정값·시간·전환 조건을 묶어 둔 작업 조건 집합이다.처리량↗처리량은 정해진 시간 동안 장비가 처리한 웨이퍼 등의 수량이다.진공↗진공은 기체 압력이 주변 대기압보다 낮은 상태다.이전 용어← 입자 오염다음 용어분자 오염 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개