패턴 붕괴
Pattern collapse
패턴 붕괴는 가늘고 높은 미세 구조가 힘을 견디지 못해 휘거나 서로 붙는 현상이다.
설명
습식 처리 후 건조에서는 액체 계면의 표면장력에 따른 힘이 원인 중 하나가 될 수 있다. 구조 치수와 재료 강성, 건조 방식이 함께 영향을 준다.
예시
입자 제거율이 좋은 공정도 취약한 패턴에는 부적합할 수 있다. 새 구조 도입 시 세정 성능과 기계적 보존을 별도로 확인한다.
구분
오염 제거를 위한 공정이 구조 자체를 무너뜨리지 않아야 한다.