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피치 워킹

Pitch walking

피치 워킹은 반복 패턴의 인접 간격이 균일하지 않고 주기적으로 번갈아 달라지는 현상이다.

설명

스페이서 기반 패터닝에서 기준선 나 막 두께·식각 차이가 교대로 다른 간격을 만들 수 있다. 평균 피치만 보면 숨겨진다.

임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.

평균 간격은 목표인데 홀수·짝수 간격이 갈라지면 순서별 분포를 나누어 비교한다.

주기적 구조는 평균뿐 아니라 반복 단위별 편차를 확인한다.

임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.

변동의 계층은 측정 반복·웨이퍼 내부·웨이퍼 사이·로트 사이에서 생기는 차이를 구분하는 관점이다.

공간적 서명은 측정값이나 결함이 웨이퍼·필드의 위치에 따라 보이는 반복적 분포 형태다.