자기정렬 스페이서 패터닝
Self-aligned spacer patterning
자기정렬 스페이서 패터닝은 기준 구조의 측벽에 형성한 막을 이용해 후속 패턴 위치나 간격을 만드는 방법이다.
설명
측벽막 두께와 기준 구조의 ·측벽 형상이 최종 패턴에 전달된다. 일부 정렬 부담을 줄여도 절단 패턴 등 다른 단계의 오차는 남는다.
예시
스페이서 막 두께가 달라지면 노광 조건이 같아도 최종 선폭이나 간격이 변할 수 있다.
구분
자기정렬을 모든 위치 오차의 제거로 해석하지 않는다.