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에지 링

Edge ring

에지 링은 가장자리 주변에 배치되어 와 전기적·열적 경계 형성에 관여하는 부품이다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

플라스마

플라스마는 전자와 이온 등 전하를 띤 입자가 중성 입자와 함께 존재하며 집단적인 전기적 거동을 보이는 상태다.

설명

재질·높이·마모 상태가 가장자리 입사 조건과 결과에 영향을 줄 수 있다. 장비별 명칭과 설계가 다르며 단순한 고정 테두리로만 보지 않는다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

중앙은 안정적인데 가장자리 형상이 사용 시간에 따라 변하면 링 상태가 조사 후보가 된다. 교체 이력과 위치별 결과가 함께 있어야 근거가 강해진다.

가장자리 부품의 변화는 가장자리 공정 조건의 변화가 될 수 있다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

플라스마는 전자와 이온 등 전하를 띤 입자가 중성 입자와 함께 존재하며 집단적인 전기적 거동을 보이는 상태다.

레시피는 장비가 공정을 수행하도록 단계별 설정값·시간·전환 조건을 묶어 둔 작업 조건 집합이다.