포화 곡선
Saturation curve
포화 곡선은 전구체 노출을 늘렸을 때 이 일정 구간에 접근하는 응답이다.
설명
노출 부족에서는 성장량이 증가하다가 사용 가능한 표면 자리가 채워지면 추가 노출 효과가 작아진다. 포화 후에도 계속 증가하면 분해·응축·기상 반응 가능성을 검토한다.
예시
가상 값 0.4, 0.8, 1.0초에서 0.07, 0.10, 0.10 nm/cycle이라면 관측한 평면 조건의 포화를 지지한다. 깊은 구조 내부의 포화까지 보장하지 않는다.
구분
포화의 대상·조건·관측 범위를 명시한다.