프로브 접촉
Probe Contact
프로브 접촉은 웨이퍼의 전극에 검사 장비의 미세 접촉자를 연결하는 과정이다.
설명
접촉 저항과 위치가 불안정하면 실제 다이 문제와 구별하기 어려운 측정 오류가 생길 수 있다. 접촉력을 과하게 높이면 패드 손상 위험도 커진다.
예시
여러 다이에서 동일 프로브 위치의 실패가 반복되면 다이 결함뿐 아니라 접촉자 오염·마모와 정렬을 확인한다. 재검사 통과만으로 최초 실패 원인이 해결되었다고 보지 않는다.
구분
의 신뢰도에는 다이 성능뿐 아니라 접촉 품질도 포함된다.