스크라이브 레인
Scribe lane
스크라이브 레인은 다이를 분리할 때 사용할 수 있도록 다이 사이에 마련한 영역이다.
설명
절단 폭과 정렬 오차를 수용해야 회로 영역을 침범하지 않는다. 웨이퍼상 시험 구조가 이 영역에 포함되는 경우도 있다.
예시
다이 경계를 배선에 최대한 붙이면 유효 면적은 늘 수 있지만 절단 손상 여유가 줄 수 있다. 설계와 절단 조건을 함께 검토한다.
구분
분리 여유는 웨이퍼 이용률과 다이 건전성을 연결하는 설계 조건이다.