쿼츠 부품
Quartz components
쿼츠 부품은 반도체 장비에서 열적·화학적 요구에 맞춰 사용하는 석영계 부품이다.
설명
튜브· 등으로 쓰이며 열 이력·표면 오염·손상 상태가 수명과 공정 결과에 연결된다. 투명하다는 외관만으로 청정도나 기계적 건전성을 판단하지 않는다.
예시
표면 흠집이나 누적 부착물은 사용 조건에 따라 입자와 파손 위험을 바꿀 수 있다. 부품의 이력과 검사 결과를 함께 관리한다.
구분
내열 재료라는 이름보다 실제 사용 이력과 표면 상태가 중요하다.