라디칼과 이온 플럭스
Radical and ion flux
라디칼 플럭스이온 플럭스
플럭스는 단위 면적에 단위 시간 동안 도달하는 입자 수이며, 라디칼과 이온의 플럭스는 서로 다른 역할을 한다.
설명
라디칼은 화학 반응을 공급하고 이온은 방향성·활성화·보호층 제거에 기여할 수 있다. 둘의 비율이 변하면 같은 총 전력에서도 반응·측벽 보호 균형이 바뀐다.
예시
플라즈마 발광이 밝아졌다는 사실만으로 웨이퍼 표면의 라디칼 공급량이나 이온 수가 같은 비율로 늘었다고 판단하지 않는다.
구분
입자 생성·수송·표면 소모를 연결해 실제 도달량을 생각한다.