이온 에너지 분포
Ion energy distribution
IEDF
이온 에너지 분포는 표면에 도달하는 이온들이 가진 에너지의 범위와 상대적 비중이다.
설명
에너지가 낮으면 표면 반응 활성화나 보호층 제거가 부족할 수 있고, 높으면 저하·재스퍼터·손상이 커질 수 있다. 평균값이 같아도 높은 에너지 꼬리의 비중이 다를 수 있다.
예시
프로파일이 개선됐더라도 하부막 손상 지표가 악화하면 에너지 분포의 다른 부분을 함께 보아야 한다. 최고 식각률 하나로 최적 조건을 정하지 않는다.
구분
필요한 표면 작용을 얻되 불필요한 고에너지 성분을 관리한다.