레시피 파라미터
Recipe parameter
레시피 파라미터는 단계별 유량·압력·온도·시간 등 실행 조건을 지정하는 변수다.
설명
단위·허용 범위·적용 단계와 장비 구성에 따라 의미가 정해진다. 같은 숫자라도 단위나 기준 상태가 달라지면 같은 조건이 아니다.
예시
압력값 100을 옮길 때 Pa와 mTorr를 혼동하면 공정 조건이 달라진다. 데이터 이전에는 이름·단위·범위·단계를 함께 대조한다.
구분
파라미터는 값과 단위, 쓰이는 문맥을 하나로 관리한다.