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SECS/GEM

SECS/GEM은 반도체 장비와 상위 시스템 사이의 메시지 교환과 장비 동작 모델을 다루는 표준 체계다.

설명

상태·이벤트·알람·원격 명령· 관리 등의 통신에 사용된다. 통신 연결 성공만으로 장비별 모든 기능이나 메시지 의미가 동일하게 구현되었다고 보장하지 않는다.

레시피

레시피는 장비가 공정을 수행하도록 단계별 설정값·시간·전환 조건을 묶어 둔 작업 조건 집합이다.

호스트가 명령을 보냈어도 장비가 거부하거나 조건 미충족으로 실행하지 않을 수 있다. 응답과 상태 변화를 함께 확인한다.

통신 규약과 실제 업무 동작의 적합성은 각각 검증해야 한다.

레시피는 장비가 공정을 수행하도록 단계별 설정값·시간·전환 조건을 묶어 둔 작업 조건 집합이다.

MFC는 질량 유량 제어기로, 유량을 측정하고 내부 밸브를 조절해 설정한 유량에 가깝게 유지한다.

ALD는 서로 분리된 원료 노출과 자기제한 표면 반응을 반복하여 얇은 막을 성장시키는 원자층 증착이다.