용어검색/반도체제거 에너지 창Removal energy window제거 에너지 창은 개질층은 제거하면서 아래의 보존층 손실은 제한할 수 있는 에너지 범위다.정의 복사관련 학습 ↓설명너무 낮으면 개질층이 남고 너무 높으면 비개질층도 물리적으로 제거되거나 손상될 수 있다. 재료와 표면 상태에 따라 범위가 달라진다.예시제거율을 높였지만 기판 거칠기가 증가하면 에너지 창을 벗어났을 가능성을 검토한다.구분처리량 증가가 정밀 제거의 장점을 지우는지 확인한다.함께 배우는 용어표면 준비↗표면 준비는 후속 증착·접합·반응이 재현되도록 오염과 표면 화학상태를 조정하는 과정이다.파티클 오염↗파티클 오염은 표면에 부착한 미세 입자가 패턴이나 막 형성을 방해하는 상태다.원자층 증착↗원자층 증착인 ALD는 전구체와 반응물의 순차적인 표면 반응을 반복하여 박막을 형성하는 방법이다.이전 용어← 표면 개질다음 용어사이클당 식각량 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개