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주사전자현미경

Scanning electron microscope

SEM

팩별 설명

주사전자현미경인 SEM은 전자빔을 시료에 주사하고 발생 신호를 모아 미세구조를 영상화하는 장비다.

설명

표면 형태와 재료 차이를 높은 공간 으로 관찰하는 데 활용된다. 실제로 보이는 정보는 검출 신호와 빔 조건에 따라 달라진다.

분해능

분해능은 측정시스템이 구분해 표현할 수 있는 가장 작은 변화 수준이다.

광학검사의 작은 점이 입자인지 인지 확인할 때 SEM 리뷰를 쓸 수 있다. 영상만으로 전기적 치명도를 확정하지는 않는다.

패턴 브리지

패턴 브리지는 원래 분리되어야 할 패턴 사이에 불필요한 연결이 남은 상태다.

SEM은 결함의 모양을 구체화하는 도구다.

분해능은 측정시스템이 구분해 표현할 수 있는 가장 작은 변화 수준이다.

패턴 브리지는 원래 분리되어야 할 패턴 사이에 불필요한 연결이 남은 상태다.

로트는 제조와 추적을 위해 함께 관리하는 웨이퍼나 제품의 묶음이다.