자기제한 반응
Self-limiting surface reaction
자기제한 반응은 반응 가능한 표면 자리가 채워지면 같은 노출 조건에서 추가 반응이 제한되는 특성이다.
설명
반응물이 충분히 도달하고 적합한 온도·화학 조건이 유지될 때 의미가 있다. 원료가 계속 분해되는 조건에서는 기대한 포화 특성이 무너질 수 있다.
예시
주입 시간을 늘려도 성장량이 거의 변하지 않는 구간은 포화의 단서가 된다. 그러나 막질과 잔류물 검토 없이 그 관찰 하나로 전체 공정 적합성을 확정하지 않는다.
구분
원료를 많이 넣는 것보다 필요한 표면 반응을 끝내는 것이 핵심이다.