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반도체 테스터

Semiconductor tester

테스터

반도체 테스터는 소자에 전기적 자극을 주고 응답을 측정하여 정해진 기준과 비교하는 장비다.

설명

시험 프로그램·조건·한계값과 연결 품질이 판정에 영향을 준다. 시험하지 않은 동작 조건까지 합격이 보장되는 것은 아니다.

동일 소자라도 시험 프로그램 버전이 달라지면 비교 대상이 달라질 수 있다. 판정값에 시험 조건과 버전을 함께 기록한다.

합격은 특정 시험 범위와 조건 안에서 확인한 결과다.

처리량은 정해진 시간 동안 장비가 처리한 웨이퍼 등의 수량이다.

플라스마는 전자와 이온 등 전하를 띤 입자가 중성 입자와 함께 존재하며 집단적인 전기적 거동을 보이는 상태다.

RF 전원은 고주파 전기 에너지를 제공해 플라스마를 만들거나 전극의 전기적 조건을 제어하는 장치다.