웨이퍼 프로버
Wafer prober
프로버
프로버는 웨이퍼의 목표 ·패드에 프로브를 정렬하고 접촉시켜 전기 시험을 가능하게 하는 장비다.
설명
위치·접촉·온도와 이동을 담당하며 시험 신호를 주고 판정하는 와 역할이 다르다. 접촉 상태가 불안정하면 소자가 정상이어도 측정이 흔들릴 수 있다.
예시
특정 위치에서 재접촉 후 결과가 바뀌면 제품 이상과 접촉 문제를 구분한다. 반복 시험은 합의된 규칙에 따라 수행한다.
구분
프로버는 측정이 가능하도록 접속 조건을 만드는 장비다.