슬러리
Slurry
슬러리는 연마 입자와 화학 성분 등을 포함해 표면의 반응과 제거를 돕는 액체이다.
설명
표면을 제거하기 쉬운 상태로 만드는 화학 작용과 입자의 기계적 작용이 결합한다. 입자 상태와 성분의 변화는 제거율뿐 아니라 스크래치·부식에도 영향을 줄 수 있다.
예시
입자가 많을수록 무조건 좋은 연마가 되는 것은 아니다. 목표 재료와 정지층의 선택성, 표면 결함, 후세정까지 포함해 적합성을 확인한다.
구분
슬러리는 제거 속도와 선택성·표면 손상을 함께 바꾸는 재료이다.