sccm
Standard cubic centimeters per minute
sccm은 정해진 기준 온도·압력으로 환산한 기체 부피를 분당 세제곱센티미터로 표시하는 유량 단위다.
설명
같은 가스의 질량 흐름과 연결되지만 실제 낮은 압력의 챔버에서 차지하는 부피 유량과는 다르다. 업체나 설정별 기준 상태를 확인해야 한다.
예시
두 계측기의 100 sccm을 비교할 때 기준 온도·압력이 같은지 확인한다. 챔버 압력이 바뀌었다고 표시 sccm을 실제 공간 부피 변화와 바로 같게 두지 않는다.
구분
표준상태 환산 유량과 운전상태 부피 유량을 구분한다.