서셉터
Susceptor
서셉터는 를 지지하면서 가열·열전달과 공정 환경 형성에 관여하는 받침 구조다.
설명
재질과 코팅, 형상, 열용량이 온도 분포와 오염 특성에 영향을 준다. 공정에 따라 히터가 일체화되거나 복사·유도 가열을 통해 열을 받을 수 있다.
예시
표면 코팅 상태가 달라지면 접촉과 복사 특성이 달라질 수 있다. 단순히 를 얹는 판으로만 보면 공정 결과와 연결되는 변화를 놓친다.
구분
지지부의 재질·표면·열적 상태도 공정 조건의 일부다.