정전척
Electrostatic chuck
ESC
정전척은 전기적 인력을 이용해 를 지지면에 고정하는 척이다.
설명
고정은 이송 안정성과 열접촉을 돕고, 설계에 따라 뒷면 가스와 결합해 온도 제어에 쓰인다. 전원을 끄는 순간 모든 잔류 전하가 즉시 사라진다고 가정하지 않는다.
예시
탈착이 불안정하면 잔류 전하·표면 상태· 휨 등 여러 조건을 확인한다. 실제 해제·정비 작업은 해당 장비의 승인된 절차가 필요하다.
구분
고정력과 열전달, 안전한 해제는 연결된 기능이다.