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열전대

Thermocouple

열전대는 서로 다른 금속의 접점과 기준점 사이 온도 차에 따른 전압을 이용하는 온도 센서다.

설명

센서 종류, 설치 위치와 기준접점 보상이 측정에 영향을 준다. 히터 내부의 열전대는 그 위치의 온도를 읽으므로 표면 온도와 항상 같지는 않다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

히터 온도는 안정적인데 막 특성이 바뀌면 센서 외에도 접촉과 열전달 경로를 확인한다. 하나의 온도 태그를 모든 위치의 온도로 확대하지 않는다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

어떤 원리로 어디를 측정하는지 알아야 온도값을 해석할 수 있다.

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

반도체 공정 장비는 웨이퍼에 재료를 더하거나 제거하고 성질을 바꾸도록 정해진 환경과 동작을 만드는 시스템이다.

진공은 기체 압력이 주변 대기압보다 낮은 상태다.