화면을 준비하고 있습니다.

두께 균일도

Thickness uniformity

두께 균일도는 웨이퍼나 다이의 여러 위치에서 두께가 얼마나 일정한지를 나타낸다.

설명

평균 두께가 맞아도 국소적으로 얇거나 두꺼우면 전극 노출량과 기계적 강도가 달라진다. 높이 차이는 이후 접합의 에도 영향을 준다.

공면성

공면성은 여러 접점의 끝이 얼마나 같은 평면에 놓여 있는지를 나타내는 특성이다.

중앙 평균값만 보고 공정을 완료하지 않는다. 가장자리와 국소 분포를 측정해 허용 범위 안에 있는지 확인한다.

평균 목표 달성과 전체 위치의 균일성은 함께 필요하다.

공면성은 여러 접점의 끝이 얼마나 같은 평면에 놓여 있는지를 나타내는 특성이다.

패키지 기판은 다이를 지지하면서 여러 배선층과 비아로 내부 접점을 외부 단자에 연결하는 부품이다.

절연층은 인접한 금속 경로 사이의 원치 않는 전류 흐름을 막는 재료층이다.