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수직 NAND 채널

Vertical NAND channel

수직 NAND 채널은 여러 적층 셀을 높이 방향으로 연결하도록 형성하는 채널 구조다.

설명

깊은 구멍의 식각 형상과 내부 막·채널 형성이 층별 특성에 영향을 준다. 여기서는 구조 원리를 다루며 특정 세대의 층수나 레시피는 전제하지 않는다.

상부와 하부의 지름 차이가 크면 층별 전기 분포도 달라질 수 있다.

상부 평균 만으로 전체 높이의 균일성을 평가하지 않는다.

임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.

임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.

공정 통합은 여러 단위공정의 순서·재료·형상을 조정하여 최종 소자와 배선의 요구특성을 함께 만족시키는 활동이다.

공정 윈도우는 정한 품질 조건을 동시에 만족하는 입력변수 조합의 범위다.